简介： 本发明涉及一种高精度非接触三维面型测量装置。该装置包括激光测量传感器、X向、Y向和Z向运动单元等。本发明提供了高精度非接触测量装置和测量方法,可对硬质材料、软质材料和镜面材料的表面面型等进行高精度快速动态无损伤测量,获得面型、尺寸、表面状态等数据。