简介： 本发明公开了一种基于微波信号的非接触式导电薄膜方块电阻测量方法，包括如下步骤：选取方块电阻值稳定的样品作为校准样品；测量校准样品的方块电阻、散射参数特性；依据校准样品测试数据获得金属薄膜散射参数‑方块电阻关系曲线；测量待测样品的散射参数特性；依据薄膜散射参数‑方块电阻关系曲线和待测样品的散射参数计算得到待测样品的薄膜方块电阻。本发明实现无损测量导电薄膜方块电阻，而且能广泛应用于集成电路、太阳能电池、探测器等领域，具有一定的普适性。