简介： 本发明涉及微机电系统的动态特性测试方法,具体为微机电系统的动态应力测试方法。本发明解决现有技术尚无测试微机电系统动态应力测试方法的问题。该方法包含激光照射动态样品、样品产生拉曼散射、输出拉曼光谱、分析拉曼光谱的拉曼测试过程,将照射激光调制成与被测样品动态振动频率相同的激光脉冲。本发明首次将拉曼测试原理用于微机电系统动态应力的测试,并通过对激光的高频调制使拉曼测试用于微机电系统的动态应力测试成为现实,从而给出了一种基于拉曼光谱的非接触式无损测试微机电系统动态应力的方法,添补了微机电系统动态应力测试的空白。