简介:
本实用新型提供一种能够进行无损检查的尺寸测量的玻璃基板的尺寸测量装置。玻璃基板(G)的尺寸测量装置(1)具备:浮台(2),其向水平姿态的玻璃基板(G)的下表面喷出气体,从而以使玻璃基板(G)浮起的状态对该玻璃基板(G)支承;以及拍摄元件(4),其对玻璃基板(G)进行拍摄,通过拍摄元件(4)来拍摄包含浮台(2)上的玻璃基板(G)的测量点(P)在内的图像数据,从图像数据获取测量点(P)的坐标,并基于测量点(P)的坐标来计算玻璃基板(G)的尺寸。
本实用新型提供一种能够进行无损检查的尺寸测量的玻璃基板的尺寸测量装置。玻璃基板(G)的尺寸测量装置(1)具备:浮台(2),其向水平姿态的玻璃基板(G)的下表面喷出气体,从而以使玻璃基板(G)浮起的状态对该玻璃基板(G)支承;以及拍摄元件(4),其对玻璃基板(G)进行拍摄,通过拍摄元件(4)来拍摄包含浮台(2)上的玻璃基板(G)的测量点(P)在内的图像数据,从图像数据获取测量点(P)的坐标,并基于测量点(P)的坐标来计算玻璃基板(G)的尺寸。