简介： 本发明公开了一种单细胞阵列电测量微芯片，包括基底、阵列式的多个定位微电极、阵列式的多个电测量微电极对和样品池微腔体，本发明还公开了单细胞阵列电测量微芯片的制造方法、以及利用该微芯片对细胞进行电测量和电穿孔的方法。本发明将细胞定位与细胞电测量和电穿孔相结合，采用无标记、无损伤的微操纵、定位和参数测量分析技术，实现单细胞阵列、多模式的原位在线测量和分析；由于定位后的细胞位置固定，可有效提高细胞的电学检测精度，并可提升细胞的电穿孔效率、降低细胞死亡率。本发明还将自动化控制技术引入细胞微操纵和电测量中，通过电测量反馈进行细胞定位的自动控制，最终能够实现快速、精确和多模式的细胞自动化测量和分析。