简介： 本发明公开一种用于纳米材料成像的表面形貌测量系统。SPR传感器跟随扫描平台在控制器的控制下对待测材料进行逐步扫描，金属薄膜与待测材料之间的空气层被视作SPR传感器耦合结构的一部分，待测材料的表面形貌对表面等离子体共振现象产生影响，由SPR传感器将每一步的反射图谱传送给上位机，上位机将反射图谱中的表面等离子共振信号提取出来，通过数据分析完成对待测材料的表面形貌重构。该表面形貌测系统能够实现对样品的高精度、高分辨率的非接触无损检测。