干涉测量系统成像畸变标定装置
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干涉测量系统成像畸变标定装置
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简介: 一种干涉测量系统成像畸变标定装置,属于光学元件面形干涉测量技术领域,涉及一种干涉测量系统成像畸变标定装置。本发明能够在未知干涉测量系统光学设计参数的前提下,实现高精度被测试光学元件的非接触无损伤原位检测,得出干涉测量系统的成像畸变,且结构紧凑,减轻了重量和节省了空间,减少了误差积累,同时降低了操作的复杂性。所述标定装置为球冠形,在所述标定装置上沿横向和纵向分布有若干个通孔,每个通孔的中心和每个与其相邻的通孔的中心间距相同,每个通孔的中心线均通过所述标定装置所在球面的球心,且其中的一个通孔位于所述标定装置的中心,即为中心通孔。
一种干涉测量系统成像畸变标定装置,属于光学元件面形干涉测量技术领域,涉及一种干涉测量系统成像畸变标定装置。本发明能够在未知干涉测量系统光学设计参数的前提下,实现高精度被测试光学元件的非接触无损伤原位检测,得出干涉测量系统的成像畸变,且结构紧凑,减轻了重量和节省了空间,减少了误差积累,同时降低了操作的复杂性。所述标定装置为球冠形,在所述标定装置上沿横向和纵向分布有若干个通孔,每个通孔的中心和每个与其相邻的通孔的中心间距相同,每个通孔的中心线均通过所述标定装置所在球面的球心,且其中的一个通孔位于所述标定装置的中心,即为中心通孔。
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