简介： 本发明公开了一种快速测定金属镀层厚度的方法，通过采用皮秒脉冲激光器在单点剥蚀模式、20Hz脉冲频率和875μm散焦距离等特定的条件下对样品进行剥蚀，通过电感耦合等离子体质谱仪得到可将镀层金属和基材金属直观区分开的时间分辨图，确定时间分辨图中镀层金属和基材金属的交界点，由此确定剥蚀镀层金属的剥蚀时间，然后以相同镀层的标准片为基准计算金属镀层的单位脉冲剥蚀量，根据单位脉冲剥蚀量和剥蚀时间计算得到镀层厚度；优点是实现镀层厚度的无损快速检测，不受是否导体的限制，对样品的形状没有要求，且准确的区分两层金属边界，检测精度高。