非接触式光学系统空气间隔测量工作方法及设备
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非接触式光学系统空气间隔测量工作方法及设备
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简介: 本发明公开了一种非接触式光学系统空气间隔测量工作方法及设备,由Fizeau干涉仪构成主要光学检测系统,使干涉仪标准镜头的焦点聚于被测透镜的顶点上,通过一光电成像转换器将被测透镜镜面顶点波前翻转自准干涉而予以定位;指示光栅与干涉仪的标准镜头联动,通过光栅传感器和数显表组成的读数系统读取标准镜头的移动量而获取光学系统的空气间隔值。本发明具有对被检镜头无损伤、测量精度高、使用方便等优点。
本发明公开了一种非接触式光学系统空气间隔测量工作方法及设备,由Fizeau干涉仪构成主要光学检测系统,使干涉仪标准镜头的焦点聚于被测透镜的顶点上,通过一光电成像转换器将被测透镜镜面顶点波前翻转自准干涉而予以定位;指示光栅与干涉仪的标准镜头联动,通过光栅传感器和数显表组成的读数系统读取标准镜头的移动量而获取光学系统的空气间隔值。本发明具有对被检镜头无损伤、测量精度高、使用方便等优点。
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标签:无损检测
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