简介： 本发明公开了一种红外反射法测硅基图形片表面苯并三唑（BTA）的方法。本发明按照下述步骤进行：将干燥后的苯并三唑分别配制成0.1mol/L-0.15mol/L、0.15mol/L-0.2mol/L、0.2mol/L-0.25mol/L、0.25mol/L-0.3mol/L、0.3mol/L-0.35mol/L的BTA；上述配制好的BTA按照五点法的位置滴加到十二吋的硅基图形片上，使用红外反射法测量其浓度；使用TQAnalyst（红外定量分析）建立模型曲线，保存为定量分析标准，检测其它样品的苯并三唑（BTA）溶液浓度时，首先进行检测生成谱图，然后调取上述步骤d的定量分析标准，进行定量分析。本发明方法解决了在十二吋晶圆样品台上进行苯并三唑（BTA）浓度测量的问题，其他方法均不能满足在十二吋晶圆上对BTA的无损测量。