简介： 本实用新型为一种可调谐波长干涉三维形貌测量装置，属于光学精密检测技术领域。测量装置由可调谐激光器、第一分光装置、反射镜、第一扩束系统、第二扩束系统、相移装置、第二分光装置、相机组成，通过激光调谐、光场解算等技术，实现物体表面三维形貌测量。本实用新型测量装置具有对被测表面粗糙度的适应范围宽、量程适配性强、非接触、高精度等特点，能够实现对待测件的无损检测，可广泛应用于半导体、光学、航空航天等高精密检测领域。