简介： 本申请涉及一种纳米薄膜静电疲劳测试方法，属于纳米薄膜静电测试方法技术领域。纳米薄膜静电疲劳测试方法包括提供纳米薄膜；提供电极板；提供位移传感器；提供直流电压源；提供绝缘支撑件，绝缘支撑件具有检测通孔；将绝缘支撑件支撑于纳米薄膜和电极板之间，使电极板位于检测通孔的下方，纳米薄膜覆盖于检测通孔的上方且与电极板平行设置，将直流电压源的正极与纳米薄膜电连接，将直流电压源的负极与电极板电连接；启动直流电压源，通过位移传感器测量纳米薄膜向检测通孔内凹陷的位移量。该纳米膜静电疲劳测试方法，易操作、对纳米薄膜无损伤，且适用于现场实测。