简介： 本实用新型公开了属于光电无损检测和精密机械领域的一体化双视场实时薄膜微变形测量装置及方法。检测装置的激光器、光分束器、扩束镜、成像透镜、固体摄像机及全反镜等组成面内、离面ESPI检测单元按光路连接分别安置在一光学隔振平台上;单轴拉伸与弯曲微力加载单元MFU置于双视场光路中。本方法是按薄膜单轴变形与轴向拉伸微力测量同时进行,利用面内ESPI干涉单元和离面ESPI干涉单元分别对被测膜表面和测力弹性梁弯曲面的散斑图进行记录和处理,按通用计算方法计算出被测膜的各种力学参数。适用微米到亚微米厚度薄膜力学性能检测与分析。