简介： 本发明属于元素分析检测技术领域，特别涉及一种快速测定痕量轻元素上照式X射线能谱分析仪及分析方法。分析仪包括机柜(101)、电脑(102)、样品腔室(303)、X射线光管(301)、探测器(302)、样品杯(305)、高压电源(306)、升降平台(201)和真空泵；分析方法为：将表面光洁待测样品(501)装入样品杯(305)中，通过电脑(102)控制升降平台(201)将样品杯(305)向上升起，进入样品腔室(303)内的检测位置并采用无油真空泵快速抽真空，可同时测定痕量多个轻元素；检出限可低至1ppm。本发明能够极大降低空气对轻元素特征谱峰的吸收，降低检出限；整个测试无耗材，具有操作简单、无损快速、精确定量、低成本等特点。