简介： 本发明提供了一种原子气室内壁氢化铷抗弛豫膜层厚度的测量方法，应用于原子气室测试评估领域。首先在氦气氛围中将内壁镀有氢化铷抗弛豫膜层的原子气室进行物理破碎，利用原子力显微镜和光谱分析仪进行检测，通过不同厚度抗弛豫膜层的光谱透射率的测试数据，建立抗弛豫膜层厚度与光谱透射率的映射关系；然后基于上述映射关系，利用光谱分析仪，通过无损检测方式，测量待测原子气室的光谱透射率，通过数学模型拟合得到原子气室内壁抗弛豫膜层的厚度；从而实现对原子气室内壁抗弛豫膜层厚度的无损检测。本发明解决目前原子气室内壁氢化铷抗弛豫膜层难以有效测量的问题。