简介： 本发明公开了一种测量金属微结构残余应力三维分布的装置，包括：X射线发生系统、微衍射与光路导向系统、工作台系统、检测系统、计算机和控制系统；所述X射线发生系统产生短波长的X射线，经过微衍射与光路导向系统射到工作台系统内的待测的金属微构件样品上的被检测点上，经过样品的衍射再次通过微衍射与光路导向系统进入检测系统，检测系统接收进入检测系统的X射线进行检测，并将得到的检测数据送至计算机，计算机对收到的检测数据分析处理后，得到金属微构件样品被测点的残余应变和残余应力数据并进行误差分析和参数修正，当前点测试完成后，计算机发出指令给控制系统，控制系统更换样品检测点。本发明能自动、无损、真实地测定X射线穿透范围内的残余应变和残余应力在金属微结构中的三维分布，高效、无损、操作简便。