散斑干涉与剪切散斑干涉的测量系统及测量方法
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散斑干涉与剪切散斑干涉的测量系统及测量方法
来源:北方有色网
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简介: 本发明提供一种散斑干涉与剪切散斑干涉的测量系统及测量方法,涉及光学测试技术领域。其特征在于:包括激光器和分束镜,所述激光器发射的激光经所述分束镜分为透射光和反射光;所述透射光经扩束镜扩束后照射至被测物形成漫反射光,所述反射光依次经光纤、透镜和分光棱镜后作为参考光进入光路;所述被测物表面的漫反射光依次经光阑、成像透镜和迈克尔逊剪切装置后,获得具有剪切量的两束物光;所述具有剪切量的两束物光和光纤引入的参考光在CCD相机的靶面上干涉,形成散斑干涉图。本发明可对被测物进行散斑和剪切的同步动态检测,是一种无损、全场、高精度的测量系统。
本发明提供一种散斑干涉与剪切散斑干涉的测量系统及测量方法,涉及光学测试技术领域。其特征在于:包括激光器和分束镜,所述激光器发射的激光经所述分束镜分为透射光和反射光;所述透射光经扩束镜扩束后照射至被测物形成漫反射光,所述反射光依次经光纤、透镜和分光棱镜后作为参考光进入光路;所述被测物表面的漫反射光依次经光阑、成像透镜和迈克尔逊剪切装置后,获得具有剪切量的两束物光;所述具有剪切量的两束物光和光纤引入的参考光在CCD相机的靶面上干涉,形成散斑干涉图。本发明可对被测物进行散斑和剪切的同步动态检测,是一种无损、全场、高精度的测量系统。
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标签:无损检测
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