简介： 一种电光晶体通光面法线与Z轴偏离角测量装置及其测量方法，该装置包括激光器、第一透镜、空间滤波器、第二透镜、起偏器、分光镜、平面反射镜、数字光电自准直仪、第三透镜、第四透镜、检偏器、成像透镜、探测器和计算机处理系统。实验表明，本发明利用锥光干涉原理，实现了待测晶体待测面的非接触式无损检测，保障了测量过程中不引入待测晶体表面划痕，并且适用于大口径电光晶体检测，另外本发明采用数字光电自准直仪标定检测光束的光轴方向，保障了检测光束垂直入射待测晶体，具有测量精度高，测量重复性好的优点，具有很大应用前景。