简介： 本发明涉及光伏领域，具体公开了一种接触电阻的测量方法，包括如下步骤：将光生伏特体外部短路；用开尔文扫描探针以非接触式方式与光源同步逐个扫描所述光生伏特体表面的各个扫描点，并得到每个所述扫描点的光电压Vp，同时记录每个所述扫描点所对应的所述光生伏特体的外部短路电流I；按照公式Rcl＝C·Vp/I，计算得到每个扫描点的接触电阻；其中，C为经验修正因子。上述接触电阻的测量方法，可实现太阳能电池的接触电阻的无损检测；同时无需对太阳能电池进行特殊的电极设计，并且能够对整个太阳能电池进行面扫描。另外该方法还适于测量异质结太阳能电池。本发明还公开了一种接触电阻的测量装置。