简介： 本发明涉及一种红外热波成像无损检测方法，采用高功率激光束，经光束偏转装置对样品的表面进行快速扫描，同时设置热像仪的图像采集子窗口，使之动态地跟踪激光束的移动。通过热像仪采集的一系列热波图像，每帧图像中各像素的热波信号与热激励之间具有不同的延迟。经过延迟量修正和数值处理的热波图像，可以用于对样品的内部缺陷进行分析。