简介： 本发明涉及一种石英玻璃亚表面损伤深度样件制作及检测方法，步骤为：1、对样件上表面进行超精密磨削加工，清洗加工后的样件；2、将清洗烘干后的单面抛光硅片的抛光面与样件加工面均匀粘接，待胶层固化后，进行横纵方向的分切，分成多个小样件；3、取一块形状方正的小样件，仅一个侧面外露的方式包固在外套件内；4、固定住外套件，对样件外露侧面进行无损渐进式抛光，抛光后清洗、烘干；5、将样件放入氢氟酸腐蚀溶液中腐蚀，并进行清洗烘干；6、利用离子溅射仪对抛光腐蚀后的侧面喷金处理，形成导电层；7、通过扫描电子显微镜观察样件截面并拍摄截面图像，通过图像数据处理软件测得材料亚表面损伤深度。本方法可获取样件表面损伤深度信息。