简介： 本发明公开了一种光学表面及亚表面吸收缺陷的高分辨率检测方法及装置，通过高度聚焦的泵浦激光照射样品来激发样品的红外辐射，同时利用泵浦激光所激发的红外辐射在特定波段对一些固体材料有一定穿透深度的物理特性来获得固体材料表面及亚表面对泵浦激光的光学吸收特性。通过扫描样品，该方法和装置可以在样品表面和亚表面区域内获得微米到亚微米量级的横向分辨率，适用于光热无损探伤、光热精密检测、光热显微成像与缺陷分析、特别是用于强激光系统内的光学元件缺陷检测等多个领域。