简介： 本发明提供一种用椭偏光谱仪检测8英寸抛光片的方法，所述方法使用椭偏光谱仪对8英寸抛光片最重要的光学参数双折射率进行检测。本发明提供的一种用椭偏光谱仪检测8英寸抛光片的方法测量精度高、无损伤测量、实时在线监控、测量波段宽。