简介:
本发明公开了一种镜头内部形变的弱相干光学检测方法与系统。利用OCT分别采集镜头形变前后各镜片表面的干涉光谱;提取获得深度域复数信号;基于深度域强度信号,对各个镜片表面进行微米精度的表面定位,获得每个镜片表面的像素位置及亚像素位置;基于深度域相位信号,检测纳米精度的镜头内部形变;基于深度域复数信号分析每个镜片表面的光谱域相位,以补偿深度域相位的包裹量,扩展量程至微米量级。本发明解决了传统方法中量程和精度不能同时兼顾的问题,实现了镜头内部形变的大量程、高精度无损检测,对伪像问题做了优化,提升了各镜片表面定位的稳定性。
本发明公开了一种镜头内部形变的弱相干光学检测方法与系统。利用OCT分别采集镜头形变前后各镜片表面的干涉光谱;提取获得深度域复数信号;基于深度域强度信号,对各个镜片表面进行微米精度的表面定位,获得每个镜片表面的像素位置及亚像素位置;基于深度域相位信号,检测纳米精度的镜头内部形变;基于深度域复数信号分析每个镜片表面的光谱域相位,以补偿深度域相位的包裹量,扩展量程至微米量级。本发明解决了传统方法中量程和精度不能同时兼顾的问题,实现了镜头内部形变的大量程、高精度无损检测,对伪像问题做了优化,提升了各镜片表面定位的稳定性。