简介： 本发明提供一种基于太赫兹光谱技术的热障涂层中CMAS的检测方法，包括：制备一组未受CMAS腐蚀的和N组受CMAS腐蚀程度不同的热障涂层试样，N至少为2且N为正整数；选取其中一组热障涂层试样进行太赫兹光谱测试；计算热障涂层试样在太赫兹频段的光学特征参数；对其余热障涂层试样重复上述步骤，分析未受CMAS腐蚀的和受CMAS腐蚀程度不同的热障涂层试样在太赫兹频段的光学特征参数的变化规律；对待测样品重复上述步骤，并根据变化规律判断待测样品是否受CMAS腐蚀及腐蚀程度。本发明可以实现对热障涂层中CMAS的高效无损检测，具有不破坏和污染样品，数据处理过程简便，检测结果精度高及检测过程无辐射对人体安全等优点。