简介： 本发明公开一种掺氟氧化锡镀膜玻璃的光学参数检测方法，该方法利用椭圆偏振光谱仪测试掺氟氧化锡镀膜玻璃的椭偏参数，建立梯度层与粗糙层双层膜系结构模型及各层对应色散模型，梯度层的模型为随着掺氟氧化锡镀膜厚度的增加，从底层的介电材料渐变为顶层的透明导电材料。通过迭代回归椭偏光谱，获得掺氟氧化锡薄膜的结构及各层的光学参数。本发明仅采用椭偏光学测试手段便可测量非均质掺氟氧化锡薄膜结构和光学参数，对样品无损伤、无接触、测量耗时少，测试方法简便、快捷，且对被测样品表面无特殊要求，十分适合于在线低辐射节能镀膜玻璃的性能在线检测及监控。