简介： 本发明公开了一种薄膜厚度微区成像的检测装置及方法，属于薄膜厚度无损检测的技术领域，所述检测装置包括：计算机，分别与计算机通信连接的光源发生器和面阵检测器；所述光源发生器用于产生波长可调的单色光；照明及成像光路，所述照明及成像光路用于将单色光垂直或接近垂直方向入射到样品表面的待测区域，并将反射光收集并成像到面阵检测器上；检测过程包括：检测过程包括：通过计算机控制光源发生器进行波长扫描和面阵检测器进行逐个波长反射图像的采集，并获得不同波长的反射光图像，通过数据处理方法将反射光图像转变为薄膜厚度分布图像，以达到通过获得成像范围内大量点的薄膜厚度，能应用于分析厚度不均匀薄膜，预期在材料腐蚀、光学镀膜、半导体工业等领域具有良好应用前景的目的。