简介： 本发明提出了一种基于CT扫描图像的MEMS结构的三维重构与检测方法，以解决现有检测手段检测环境要求高、不能反应其三维形貌的问题，同时保证了MEMS的无损检测。本方法首先采用工业CT技术扫描得到MEMS器件的系列图像，然后进行图像处理并得到其体数据，根据体数据进行表面模型重建，得到MEMS器件的表面三角网格模型。然后对表面模型进行修复，识别并提取其特征信息将器件模型的不同特征划分为不同的特征块，最后对划分好的特征块进行拟合，提取特征参数并导出数据接口文件。通过以上技术手段，实现了MEMS结构的三维尺度结构的准确检测。