简介： 本发明公开了一种原子层沉积系统原位实时检测方法及装置，所述方法包括：在对样片进行原子层沉积成膜时，通过反射式高能电子衍射检测所述样片的表面，以获得检测数据；根据所述检测数据，获得所述样片的原子层沉积反应机理信息。用以解决现有技术中的原子层沉积技术，其反应机理缺乏合适的原位检测技术的技术问题。提供了一种无损的原子层沉积实时检测方法及装置。