简介： 本发明涉及缺陷检测装置，涉及缺陷检测技术，包括：激发装置，用于向被检测结构施加不同激发源，而使被检测结构在不同激发源下产生不同的发光信号；接受装置，用于获得被检测结构产生的发光信号；以及计算单元，接收接受装置输出的发光信号，并根据被检测结构在不同激发源下产生的不同的发光信号计算获得被检测结构的某一层的发光信号，而为被检测结构的优化指明方向，且快速、无损。