简介： 为克服现有半导体样品缺陷检测系统检测效率低、精确度差以及有损的问题，本发明提供了一种用于半导体缺陷检测的系统，包括第一光源，用于使半导体样品产生散射光，第二光源，用于使半导体样品产生第一反射光，第三光源，用于使半导体样品产生第二反射光和光致发光；光致发光检测组件，用于检测半导体样品上单个发光单元的荧光光谱以及荧光图像；散射光检测组件，用于检测散射光的图像；反射光检测组件，用于检测第一反射光和第二反射光的图像。本发明提供的检测系统能够同时、快速、无损的进行半导体外表面缺陷、次表面缺陷以及器件缺陷检测，检测准确度高，适用Mini LED、Micro LED的缺陷检测和质量分析。