简介： 本发明提供一种晶圆缺陷检测方法及装置，所述方法包括：采用X射线衍射形貌术对晶圆样品进行第一次检测，得到第一检测结果；对晶圆样品进行亲水性处理，使晶圆样品的表面具备亲水性；对晶圆样品进行金属沾污处理，在晶圆样品表面形成缀饰；对晶圆样品进行热处理；采用X射线衍射形貌术对晶圆样品进行第二次检测，得到第二检测结果；将所述第一检测结果和所述第二检测结果进行比对，确定所述晶圆样品的缺陷类型和缺陷分布位置。根据本发明实施例的检测方法，可高效快速地检测出晶圆可能存在的所有缺陷类型及分布区域，在确保检测准确性的前提下，极大节省了检测成本；并且采用无损检测的方法，利于对晶圆进行重复检测，保证检测数据的可重复性。