简介： 本发明属于薄膜无损检测技术领域,涉及一种基于表面波的薄膜粘附性检测方法,包括:构建表征薄膜的粘附特性的弹簧假设模型,并建立表面波质点位移表达式;将建立表面波质点位移表达式代入的表面波在薄膜/基底结构中传播的边界条件,得到一个由6个方程组成的方程组B6×6C6×1=0;令系数矩阵B6×6的行列式为零,以KN和KT作为影响色散曲线的参量,得到表面波的色散曲线;在待测样片表面激发表面波,在靠近其表面的两个不同位置处采集其表面波信号,并进行分析处理,得到表面波的实验色散曲线;将该曲线和前面得到的表面波色散曲线进行匹配,得到待测样片表面的法向弹力系数KN;根据KN大小确定薄膜与基底之间的粘附性。本发明可以无损、快速、准确地检测薄膜与基底之间粘附性。