简介： 一种基于空间像自适应降噪的投影物镜波像差检测方法,是基于空间像主成份分析的光刻机投影物镜的波像差测量技术的优化方法。本方法通过对同一视场位置的空间像进行重复采集得到相应空间像的噪声权重,再将噪声的权重转化为主成份的权重,利用权重最小二乘法拟合空间像得到具有噪声抑制效果的主成份系数,最后利用泽尼克像差回归矩阵求解投影物镜的波像差。本发明通过对空间像进行无损的噪声抑制算法优化达到降噪目的,可以使投影物镜波像差的测量精度和重复精度都得到明显提高。