简介： 本发明公开了一种磁性薄膜特性指标的磁巴克豪森噪声检测和反演方法，可以对磁性薄膜的残余应力、晶粒尺寸和厚度进行无损定量评价。磁巴克豪森噪声信号时域幅值、频谱衰减特性分别由晶粒尺寸和薄膜厚度决定，且均受残余应力影响。首先建立了含残余应力、晶粒尺寸和厚度的磁巴克豪森噪声频谱理论模型；其次，利用磁巴克豪森噪声信号时域积分所得曲线确定的矫顽力，作为模型参数反演结果的收敛性判定依据；最后，面向检测到的磁巴克豪森噪声信号频谱，利用遗传算法、粒子群算法等对理论模型参数进行辨识，反演得到磁性薄膜的残余应力、晶粒尺寸和厚度等；本方法为磁性薄膜特性指标的无损检测提供了理论及实验指导。