简介： 本发明涉及用于微波芯片全频段信号质量检测的装置、系统及方法，属于芯片测试技术领域，解决微波芯片的无损检测问题，装置包括测试装具、微波输入端口、微波输出端口和控制单元；测试装具用于无损安装待测微波芯片；微波输入端口外接微波信号源，用于为所述待测微波芯片提供基准信号源；微波输出端口外接频谱分析仪，用于将所述待测微波芯片产生的微波信号输出到频谱分析仪进行信号分析；控制单元包括至少一个控制输入端口，用于接收控制指令，产生覆盖微波芯片全频段的频率控制字，控制所述待测微波芯片的输出相应频率的微波信号。本发明制造成本低、结构简单；测试过程简单、便捷，适用于批量测试。