多孔氧化铝薄膜的阻挡层厚度的检测方法
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多孔氧化铝薄膜的阻挡层厚度的检测方法
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简介: 本发明提供了一种多孔氧化铝薄膜的阻挡层厚度的检测方法,其特征在于,该方法包括根据多孔氧化铝薄膜在200nm~2500nm范围内的透射光谱米判断多孔氧化铝薄膜是否含有阻挡层,其中,如果透射光谱在200nm~2500nm范围内出现振荡,则判断该多孔氧化铝薄膜的阻挡层的厚度大于0;如果透射光谱在200nm~2500nm范围内不出现振荡,则判断该多孔氧化铝薄膜的阻挡层的厚度为0。本发明的方法是一种无损检测方法,该方法能够简便、快速、高效、对样品无损害地监控以及检测多孔氧化铝薄膜的阻挡层的去除程度,在大规模生产中可以作为产品控制以及质量检测的重要手段。
本发明提供了一种多孔氧化薄膜的阻挡层厚度的检测方法,其特征在于,该方法包括根据多孔氧化铝薄膜在200nm~2500nm范围内的透射光谱米判断多孔氧化铝薄膜是否含有阻挡层,其中,如果透射光谱在200nm~2500nm范围内出现振荡,则判断该多孔氧化铝薄膜的阻挡层的厚度大于0;如果透射光谱在200nm~2500nm范围内不出现振荡,则判断该多孔氧化铝薄膜的阻挡层的厚度为0。本发明的方法是一种无损检测方法,该方法能够简便、快速、高效、对样品无损害地监控以及检测多孔氧化铝薄膜的阻挡层的去除程度,在大规模生产中可以作为产品控制以及质量检测的重要手段。
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标签:无损检测
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