简介： 本实用新型涉及一种微波芯片检测装置，属于芯片测试技术领域，解决微波芯片的无损检测问题，装置包括测试装具(2)、控制单元(3)、输入端口(4)、输出端口(5)；测试装具(2)，用于无损安装待测微波芯片；控制单元(3)、输入端口(4)、输出端口(5)分别通过测试装具(2)与待测微波芯片的控制端口、微波输入端口和微波输出端口连接；输入端口(4)外接微波信号源(9)，用于为待测微波芯片提供信号源；输出端口(5)外接频谱分析仪(10)，用于检测待测微波芯片的输出信号；控制单元(3)，用于产生控制信号，控制待测微波芯片输出信号的参数。本实用新型制造成本低、结构简单；测试过程简单、便捷，适用于批量测试。