简介： 一种应用于电子及微电子组装领域内的高精密透视成像检测设备,属于无损伤全自动检测设备,包括微焦点X射线源、射线图像接收器、X射线发射源及接收器的多角度转动立体检测装置、被测物四轴运动平台和计算机及分层控制系统,所述多角度转动立体检测装置和被测物四轴运动平台组装成活动支架体,被检测物置于四轴运动平台上,所述微焦点X射线源和射线图像接收器分别安装于多角度转动立体检测装置的支架两端处,所述计算机及分层控制系统完成实时运动控制及实时图像采集处理。本实用新型为新一代的无损伤检测设备,尤其应用于电子及微电子产品的检测和各种精细工业生产检测,从而能应用于航空、航天、军用和工业领域。