简介： 一种光子晶体表面周期性结构的检测方法,属于平面结构检测、光测力学技术领域。本发明以激光扫描共聚焦显微镜的扫描线为参考栅,光子晶体表面周期性结构为试件栅,通过使两栅发生干涉形成清晰的LSCM云纹,再通过提取云纹条纹方程,将其代入推导的反演公式求解试件栅方程,进而既可求出物体表面微纳米尺度的周期性结构尺寸、又可反映其在大范围内的整体结构特征。此方法综合了云纹法灵敏度高、测量视场大,及激光共聚焦显微镜分辫率高、无需真空环境、标本制备简单、对样品无损伤、空间定位方便等优点,测量精度高,操作简单,可进行全场测试,检测成本低,对表面存在多种取向周期性结构的光子晶体试样有独特的测量优势。