用于CMOS图像传感器单粒子效应检测的设备及检测方法
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用于CMOS图像传感器单粒子效应检测的设备及检测方法
来源:北方有色网
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简介: 本发明提供了一种用于CMOS图像传感器单粒子效应检测的设备及检测方法,本发明采用脉冲激光单粒子微束试验,可以准确定位到不同功能模块。根据器件版图工艺结构,对CMOS图像传感器不同子电路逐点扫描,实时监测、记录、识别器件不同区域发生单粒子效应时图像异常表现形式,获得单粒子效应异常图像特征库,建立CMOS图像传感器单粒子效应表征技术;本发明实现了在线实时识别不同的CMOS图像传感器单粒子效应,可在线实时检测CMOS图像传感器的单粒子瞬态、单粒子翻转、单粒子功能中断和单粒子锁定;本发明可实现图像实时无损传输,解决图像在传输过程中诸如噪声干扰、卡屏等问题。
本发明提供了一种用于CMOS图像传感器单粒子效应检测的设备及检测方法,本发明采用脉冲激光单粒子微束试验,可以准确定位到不同功能模块。根据器件版图工艺结构,对CMOS图像传感器不同子电路逐点扫描,实时监测、记录、识别器件不同区域发生单粒子效应时图像异常表现形式,获得单粒子效应异常图像特征库,建立CMOS图像传感器单粒子效应表征技术;本发明实现了在线实时识别不同的CMOS图像传感器单粒子效应,可在线实时检测CMOS图像传感器的单粒子瞬态、单粒子翻转、单粒子功能中断和单粒子锁定;本发明可实现图像实时无损传输,解决图像在传输过程中诸如噪声干扰、卡屏等问题。
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