简介： 一种缺陷检测方法，包括：利用不同波长的相干光源(11、12、13、14)照射被测物体；拍摄被测物体在不同波长的相干光源(11、12、13、14)照射下生成的多幅散斑图像；利用散斑图像检测被测物体的缺陷。有益效果：测量精度达到了光波波长量级，可以检测微米级别的微缺陷，是一种非接触、高精度、在线式、实时性的无损检测方法。