简介： 本发明提供一种晶圆检测装置及检测方法，所述检测装置包括脉冲激光器、第一分束器、第二分束器、光学延迟线、光电探测器、可编程延迟电路、控制器、调束光路、空间光调制器、非线性晶体、固定夹具、聚焦光路和太赫兹探测器。本发明不设机械扫描装置，待测晶圆无需进行移动扫描，同时利用电控的空间光调制器进行哈达玛矩阵的切换，可提高切换速度，并有效提高晶圆无损检测的速度和精度。