简介： 本发明提供了一种反射型掩模体的缺陷检测方法及缺陷检测系统。该缺陷检测方法中，通过采集来自掩模体的反射光以得到对应的光强度分布，进而可根据光强度分布分析并揭示出掩模体内的缺陷信息。该缺陷检测方法是基于光学检测过程而能够快速且无损的实现对掩模体的缺陷检测。