简介： 本发明公开了一种材料缺陷检测设备以及材料缺陷检测方法，包括：平面阵列传感器、控制电路和结果输出模块，其中：平面阵列传感器，包括：多个检测电极、端部屏蔽电极、极间屏蔽电极、传感器基板、信号线和基板背面屏蔽层，其中：控制电路与多个检测电极相连，用于控制对多个检测电极的电压激励；多个检测电极以阵列方式排列在传感器基板的上方，传感器基板的背面覆盖有基板背面屏蔽层，以及分布有信号线；信号线与多个检测电极相连，且与结果输出模块相连，用于将检测信号传输给结果输出模块；结果输出模块用于根据检测信号输出对应的检测结果。采用本发明方案，实现了对材料内部的无损检测。