简介： 本发明公开了一种基板检测设备及其检测方法，所述检测方法包括：获取基板的位置；检测并获取残留物信息；以及根据所述残留物信息，判断所述位置的清洁度，并反馈结果。本发明通过光学显微镜进行定位后，启动光阻检测装置对所需位置进行光阻残留检测，可以实现检测完就反馈，简单高效，同时利用机械臂移动检测装置到待检测的位置，相比于传统的方式，大尺寸面板可以不用切片就可执行无损检测的操作，兼顾了耗材利用率与测量效率。