简介： 一种基于散射原理对不透明材料内部微/纳米级体缺陷的检测方法,属无损检测领域。本检测方法是用针对被检测材料透明或半透明的光源,发出波长为0.8～11.6μm的光束经小孔空间滤波后,进入聚焦系统聚为一微细光束,将此微细光束打入被测材料内部,通过三维超精密工作台移动被测材料,实现聚焦激光束焦点对材料内部各层面的扫描,将图象传感器放在与由激光器、小孔及聚焦系统构成的光轴垂直的方向上接收散射光,由散射光分布可判断材料内部有无缺陷及缺陷的大小等。采用本方法检测不透明材料,其探测微缺陷的尺度可小至纳米。