简介： 本发明涉及一种表征薄膜杨氏模量的优化方法，包括：计算出残余应力对薄膜杨氏模量测量的影响小于5％的范围，作为理想模型的适用范围；采用薄膜/衬底结构的样片，控制激光器发射出一定频率和能量的短脉冲激光束，样片表面通过热弹效应产生超声表面波；得到实验频散曲线；将薄膜的厚度和残余应力值与理想模型的适用范围进行对照；若残余应力对薄膜杨氏模量测量的影响小于5％，将样片的薄膜和衬底的密度、杨氏模量、泊松比、厚度在内的其他参数代入MATLAB理想理论模型中，然后通过改变杨氏模量的值来找出与实验频散曲线最相近的理论频散曲线的杨氏模量的值。