简介： 本发明公开了一种面壁材料3D微区燃料滞留无损定量分析方法。首先，四维可移动样品加热模块对被测样品进行加热，温度在300K到1300K可控；其次，计算机通过FPGA时序控制解吸附激光器发出解吸附激光，依次经过激光扩束仪、激光能量调控系统、石英片、斩波器、激光高反射镜、抛物面反射镜照射在被测样品上；ICCD相机采集微区激光解吸附的XY分辨率；解吸附气体被铱灯丝发射出的70eV高能电子电离再经由四级质谱仪采集质谱信息，送入计算机；最后，计算机提取需定量的质谱峰的强度及展宽信息，并与计算机中使用权威计量机构标定的通导型玻璃漏孔分压方法得到的定量校准曲线对比分析，通过数据处理，得到微区燃料滞留的定量分析结果。