简介： 本发明公开了一种短波长特征X射线内部残余应力无损测试方法，X射线源和探测器分布在样品的两侧，光路为透射式，在测量时，通过转动欧拉环以改变Ψ角，测试不同Ψ角下的衍射角2θ，通过拟合衍射角2θ‑sin²Ψ值计算得到测试样品内部的残余应力，测试时试样转动平面与探测器转动平面相互垂直。